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全球首臺超級針X射線成像系統問世,填補國內IC產業空白

集成電路產業是一項高門檻高投入的產業,不僅體現在IC設計上,而且也體現在IC的生產設備上,很多IC生產設備都把控在國際有限的幾家廠商手中。

本文引用地址: http://www.21ic.com/news/semi/201810/840052.htm

最近,記者從中國電科38所獲悉,經過多年技術攻關,由該所自主研制的全球首臺超級針X 射線成像將在月底開幕第92屆中國(上海)電子展正式發布。

隨著我國集成電路產業快速發展,對集成電路封裝檢測裝備需求日益凸顯,而我國此類設備以中低端產品為主,高端設備則主要依賴國外進口,嚴重制約了我國集成電路產業的發展。目前國際上可生產亞微米級分辨率設備主要由美國、日本、歐洲等國家地區的幾家企業生產。隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用輕元素材料,對設備應用場景要求更加多樣化。更高分辨率、更高對比度、更大檢測范圍的X射線檢測裝備已成為行業急需。

中國電科38所面向封裝檢測行業急需,自主研制了國內首個具有完全自主知識產權的高端微焦點X射線成像系統—超級針X射線成像系統。該系統基本工作原理是通過X射線管產生X射線,利用射線穿過物體過程中吸收和散射衰減性質,在圖像增強器上形成被掃描物體的透視圖像。區別于傳統的 X射線源技術,該設備采用國際首創的超級針X射線源,因而以“超級針”冠名。

據悉,超級針X射線成像系統性能可媲美國際最先進產品,系統分辨率小于1微米,同等分辨率下,對比度是國外產品的3倍以上,成像更清晰,檢測更可靠,使其具有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力,讓缺陷無所遁形。此外,超級針X射線成像系統還具備強大的低能成像能力,使其在輕元素材料精密檢測方面優勢突出,遠超國外同類產品,填補國際空白。目前,中國電科38所針對該產品及相關技術,已申請20余項國內外發明專利,其中11項已獲得授權。

中國電科38所相關負責人表示,超級針X射線成像系統為國際首創,標志我國在此領域已位于世界前列,將有助于提升我國集成電路封裝檢測技術水平,尤其是在輕元素材料精密檢測方面,具有強大的國際競爭力。

希望,這樣的設備能盡快投入使用,提升國內半導體集成電路生產能力。


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